簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "技術".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="無光罩微影"


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    半導體雷射直寫式微影系統設計與分析
    • 自動化及控制研究所 /106/ 碩士
    • 研究生: 朱良修 指導教授: 郭鴻飛
    • 雷射直寫技術之於黃光微影製程的優勢是無需光罩,而以雷射光束聚焦在光阻上直接定義電路圖案,對此一個基於雙軸振鏡的雷射掃描系統,能夠將數十微米的聚焦光點快速定位在曝光面的任意處,不過掃描過程中存在像場變…
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    • 全文公開日期 2023/06/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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